氧化鎵憑借其性能與成本優(yōu)勢(shì)，有望成為繼碳化硅之后最具潛力的半導(dǎo)體材料，近年來(lái)熱度不斷上漲，頻頻傳出各類(lèi)利好消息。
9月12日，據(jù)杭州富加鎵業(yè)科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)：富加鎵業(yè)）官微消息，富加鎵業(yè)6英寸氧化鎵單晶及外延片生長(zhǎng)線于9月10日在杭州富陽(yáng)開(kāi)工建設(shè)。
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資料顯示，富加鎵業(yè)成立于2019年12月，致力于超寬禁帶半導(dǎo)體氧化鎵材料的產(chǎn)業(yè)化工作，主要從事氧化鎵單晶材料生長(zhǎng)、氧化鎵襯底及外延片研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售工作，產(chǎn)品主要應(yīng)用于功率器件、微波射頻及光電探測(cè)等領(lǐng)域。
據(jù)稱(chēng)，富加鎵業(yè)是國(guó)內(nèi)目前唯一一家同時(shí)具備6英寸單晶生長(zhǎng)及外延的公司，開(kāi)工建設(shè)的6英寸氧化鎵單晶及外延片生長(zhǎng)線也是國(guó)內(nèi)第一條6英寸氧化鎵單晶及外延片生長(zhǎng)線。
據(jù)富加鎵業(yè)介紹，氧化鎵單晶可以通過(guò)熔體法生長(zhǎng)，從而在制備成本、單晶質(zhì)量、缺陷或尺寸等方面相對(duì)于寬禁帶半導(dǎo)體碳化硅、氮化鎵材料及超寬禁帶半導(dǎo)體氮化鋁、金剛石材料有明顯優(yōu)勢(shì)。
此外，氧化鎵材料的熱處理溫度及硬度均與單晶硅較為接近，從單晶硅器件線轉(zhuǎn)為氧化鎵器件線僅僅需要更換5%設(shè)備，相比而言，碳化硅材料硬度較大，且熱處理溫度較高，從單晶硅器件線轉(zhuǎn)為碳化硅器件線，需要更換25%設(shè)備。
富加鎵業(yè)表示，現(xiàn)存單晶硅的器件線以6英寸及8英寸為主，氧化鎵單晶材料及外延片需要跨過(guò)6英寸門(mén)檻后才能進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化快車(chē)道?，F(xiàn)階段，富加鎵業(yè)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了6英寸導(dǎo)電型及絕緣型氧化鎵單晶襯底的制備，單晶外延技術(shù)也取得重要進(jìn)展，已達(dá)到6英寸硅基器件線產(chǎn)業(yè)化門(mén)檻。
據(jù)集邦化合物半導(dǎo)體了解，包括富加鎵業(yè)在內(nèi)的國(guó)內(nèi)廠商和研究機(jī)構(gòu)正在加速布局氧化鎵產(chǎn)業(yè)，并取得了一系列成果。
去年2月，中國(guó)電科46所成功制備出6英寸氧化鎵單晶，技術(shù)達(dá)到了國(guó)際一流水平。
同年10月，北京鎵和半導(dǎo)體有限公司實(shí)現(xiàn)了4英寸氧化鎵晶圓襯底技術(shù)突破，推出多規(guī)格氧化鎵單晶襯底并首發(fā)4英寸（100）面單晶襯底參數(shù)。
而在今年2月，鎵仁半導(dǎo)體聯(lián)合浙江大學(xué)杭州國(guó)際科創(chuàng)中心先進(jìn)半導(dǎo)體研究院、硅及先進(jìn)半導(dǎo)體材料全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，采用自主開(kāi)創(chuàng)的鑄造法成功制備了高質(zhì)量6英寸非故意摻雜及導(dǎo)電型氧化鎵單晶，并加工獲得了6英寸氧化鎵襯底片。在此基礎(chǔ)上，鎵仁半導(dǎo)體于今年7月制備出了3英寸晶圓級(jí)（010）氧化鎵單晶襯底。（集邦化合物半導(dǎo)體Zac整理）
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