近日，2家國(guó)際碳化硅（SiC）設(shè)備公司——Aehr和Axcelis于同一天宣布公司獲得了新訂單。
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Aehr的FOX-NP SiC MOSFET多晶圓測(cè)試和老化系統(tǒng)獲美企訂單
4月2日，全球半導(dǎo)體測(cè)試和老化設(shè)備供應(yīng)商Aehr Test Systems宣布，公司已收到客戶的初步訂單，訂購(gòu)一套FOX-NP晶圓級(jí)測(cè)試和老化系統(tǒng)、多臺(tái)WaferPak接觸器和一臺(tái)FOX WaferPak對(duì)準(zhǔn)器，這些設(shè)備將用于SiC器件的工程設(shè)計(jì)、認(rèn)證和小批量生產(chǎn)晶圓級(jí)測(cè)試和老化。
Aehr透露，客戶是一家年收入數(shù)十億美元的全球半導(dǎo)體公司，業(yè)務(wù)遍及歐洲、亞洲和美洲，服務(wù)于汽車、工業(yè)、移動(dòng)和消費(fèi)應(yīng)用等多個(gè)行業(yè)。FOX-NP系統(tǒng)，包括FOX WaferPak對(duì)準(zhǔn)器和初始版的WaferPaks，這些設(shè)備計(jì)劃在未來幾個(gè)月內(nèi)發(fā)貨。
Aehr總裁兼首席執(zhí)行官Gayn Erickson評(píng)論道：“我們非常高興這位新客戶選擇我們的FOX-P解決方案來設(shè)計(jì)、鑒定和生產(chǎn)他們的SiC功率器件。該客戶已與Aehr技術(shù)解決方案團(tuán)隊(duì)展開長(zhǎng)期合作，對(duì)Aehr幫助他們實(shí)現(xiàn)這些目標(biāo)的能力感到安心?？蛻暨x擇我們的FOX解決方案的一個(gè)關(guān)鍵特點(diǎn)是，它能夠經(jīng)濟(jì)高效地實(shí)現(xiàn)其目標(biāo)的老化和穩(wěn)定要求，包括100%的可追溯性，并證實(shí)晶圓上的每個(gè)器件都在所需的測(cè)試時(shí)間內(nèi)被老化?！?/p>
Aehr介紹，F(xiàn)OX-NP系統(tǒng)配置了新的雙極性電壓通道模塊（BVCM）和甚高壓通道模塊（VHVCM）選項(xiàng)，使用Aehr專有的WaferPak全晶圓接觸器為SiC功率半導(dǎo)體提供新的高級(jí)測(cè)試和老化功能。
FOX-XP和FOX-NP系統(tǒng)提供多個(gè)WaferPak接觸器（全晶圓測(cè)試）或多個(gè)DiePakTM載體（單芯片/模塊測(cè)試）配置，能夠?qū)iC和GaN功率半導(dǎo)體、硅光子學(xué)以及其他光學(xué)器件、2D和3D傳感器、閃存等器件進(jìn)行功能測(cè)試和老化/循環(huán)。磁傳感器、微控制器和其他尖端IC采用晶圓外形尺寸，然后再組裝成單芯片或多芯片堆疊封裝，或采用單芯片或模塊外形尺寸。
圖片來源：拍信網(wǎng)正版圖庫
Axcelis的Purion EXE SiC系列設(shè)備出貨日本
4月2日，半導(dǎo)體行業(yè)離子注入解決方案的供應(yīng)商Axcelis Technologies宣布，公司的Purion EXE SiC高能注入機(jī)完成出貨，并且已交付給日本領(lǐng)先功率器件芯片制造商的Purion H200高電流注入機(jī)成功完成評(píng)估。
據(jù)介紹，這些設(shè)備將用于6英寸（150mm）和8英寸（200mm）SiC功率器件的生產(chǎn)，支持汽車、工業(yè)、能源和其他電力密集型應(yīng)用。
Axcelis營(yíng)銷和應(yīng)用執(zhí)行副總裁Greg Redinbo表示：“8英寸Purion H200 SiC設(shè)備成功完成評(píng)估，使其能夠與日本一家領(lǐng)先的功率器件客戶現(xiàn)有的8英寸Purion EXE SiC一起投入生產(chǎn)。日本新的6英寸客戶追加訂購(gòu)了一臺(tái)Purion EXE SiC，凸顯了客戶對(duì)先進(jìn)SiC功率器件上更高能量離子注入配方的需求正在不斷增長(zhǎng)，而Purion Power系列設(shè)備則能提供解決方案?！?/p>
值得一提的是，3月20日，Axcelis的Purion M SiC中電流注入機(jī)已向中國(guó)多家先進(jìn)的功率器件芯片制造商發(fā)貨.這些設(shè)備于第一季度出貨，將用于6英寸SiC功率器件的生產(chǎn)，支持汽車、工業(yè)、能源和其他電力密集型應(yīng)用。（集邦化合物半導(dǎo)體Morty整理）
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