隨著碳化硅（SiC）產業(yè)蓬勃發(fā)展，相關設備廠商獲得了更多出貨機會，近日，又有兩家SiC相關設備廠商成功完成了批量出貨。
廣州粵升液相法SiC單晶爐批量出貨
11月13日，廣州粵升半導體設備有限公司（以下簡稱廣州粵升）多臺SiC設備產品批量出貨。據悉，其出貨產品-液相法SiC單晶爐，是SiC產業(yè)鏈中的關鍵環(huán)節(jié)，可為客戶提供高質量、低成本的SiC襯底新方案。
資料顯示，廣州粵升成立于2021年9月，專注于SiC外延設備、SiC晶體生長設備的研發(fā)和生產，助力客戶生產高質量的SiC外延片和晶片。
成立兩年以來，廣州粵升產品研發(fā)進展較快。2022年6月，廣州粵升與廣州海創(chuàng)產業(yè)技術研究院合作，成立SiC外延設備研發(fā)中心；11月，首臺SiC外延設備研發(fā)成功；2023年2月，廣州粵升開始液相法SiC單晶設備的研發(fā)；9月，該公司SiC外延設備產品裝車交付；11月，液相法SiC單晶設備批量交付。
值得一提的是，廣州粵升自主研發(fā)的4/6英寸SiC外延設備，生長的4/6英寸SiC外延片質量均達到國際先進水平，滿足MOSFET和SBD器件的制備要求，在一定程度上加速了SiC外延設備國產化進程。
圖片來源：拍信網正版圖庫
優(yōu)睿譜晶圓電阻率測量設備發(fā)貨兩家客戶
近日，優(yōu)睿譜半導體設備（無錫）有限公司（以下簡稱優(yōu)睿譜）宣布推出晶圓電阻率量測設備SICV200，目前已經同時發(fā)貨兩家客戶。
據介紹，SICV200是一款用于測量硅片電阻率、SiC或其它半導體材料摻雜濃度的半導體量測設備，可支持對包括12英寸在內的各種不同尺寸晶圓，進行多頻率下CV特性分析。機臺配置上，SICV200具有各種尺寸的半自動方案以及符合SEMI標準的全自動方案，可直接對接客戶工廠MES系統(tǒng)，實現(xiàn)自動化生產。
資料顯示，優(yōu)睿譜成立于2021年，致力于打造高品質的半導體前道量測設備。
今年7月，優(yōu)睿譜SiC自動光學位錯微管檢測設備SICD系列交付客戶，可用于SiC襯底的位錯及微管缺陷檢測。據介紹，較國內同類功能的設備，SICD設備在檢測速度上提升了數(shù)倍。
此外，優(yōu)睿譜FTIR設備Eos200Lite可用于SiC外延片外延層厚度及均勻性測量，目前已獲得多家頭部SiC基外延廠訂單。未來，優(yōu)睿譜有望加快出貨速度。（集邦化合物半導體Zac整理）
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