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CEA-Leti開發(fā)兼容CMOS的8英寸GaN-on-Si射頻工藝

作者 |發(fā)布日期 2023 年 12 月 15 日 17:49 | 分類 射頻
據(jù)報(bào)道,近日,CEA Tech下屬研究所Leti已開發(fā)出一種與CMOS無塵室兼容的8英寸硅基氮化鎵(GaN-on-Si)工藝技術(shù),既能保持半導(dǎo)體材料的高性能,成本又低于現(xiàn)有的碳化硅基氮化鎵(GaN-on-SiC)技術(shù)。 該研究所在IEDM 2023會(huì)議的一場(chǎng)演講中表示,目前用于電...  [詳內(nèi)文]