国产福利电影一区,五月激情综合婷婷,中文字幕无码在线日本视频 http://fortresscml.com 集邦化合物半導(dǎo)體是化合物半導(dǎo)體行業(yè)門(mén)戶(hù)網(wǎng)站,提供SiC、GaN等化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)資訊、研討會(huì)以及分析報(bào)告。 Mon, 17 Jun 2024 07:13:11 +0000 zh-CN hourly 1 https://wordpress.org/?v=6.3.1 比亞迪新建碳化硅工廠(chǎng)預(yù)計(jì)今年下半年投產(chǎn) http://fortresscml.com/Company/newsdetail-68340.html Mon, 17 Jun 2024 07:12:53 +0000 http://fortresscml.com/?p=68340 近日,比亞迪品牌及公關(guān)處總經(jīng)理李云飛在中國(guó)汽車(chē)重慶論壇上表示,比亞迪新建碳化硅工廠(chǎng)將成為行業(yè)最大的工廠(chǎng),該工廠(chǎng)將于今年下半年投產(chǎn),產(chǎn)能規(guī)模是全球第一,是第二名的10倍。

據(jù)了解,今年下半年起,比亞迪20萬(wàn)左右的車(chē)型也將搭載應(yīng)用碳化硅的智能化方案,從而實(shí)現(xiàn)智能駕駛等更大范圍的搭載應(yīng)用,會(huì)通過(guò)OTA(若硬件具備)或推出新款車(chē)型(若硬件不具備)的形式來(lái)覆蓋。

圖片來(lái)源:拍信網(wǎng)正版圖庫(kù)

據(jù)業(yè)界消息,比亞迪曾在2021年世界智能網(wǎng)聯(lián)汽車(chē)大會(huì)展示6款“高精尖”功率器件產(chǎn)品,包括V-215、V-305(碳化硅模塊)、V-SSDC(碳化硅模塊)、V-DUAL1、IGBT晶圓、FRD晶圓。而在今年北京車(chē)展期間,比亞迪曾展出1200V1040A高功率碳化硅模塊。該模塊最早2022年6月發(fā)布,在不改變?cè)心K封裝尺寸的基礎(chǔ)上將模塊功率大幅提升了近30%,主要應(yīng)用于新能源汽車(chē)電機(jī)驅(qū)動(dòng)控制器。(來(lái)源:全球半導(dǎo)體觀(guān)察)

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搭載1200V SiC電控,比亞迪發(fā)布海獅07EV http://fortresscml.com/Company/newsdetail-68017.html Sat, 11 May 2024 10:00:58 +0000 http://fortresscml.com/?p=68017 5月10日,比亞迪發(fā)布全新一代e平臺(tái)3.0 Evo及首搭車(chē)型海獅07EV。據(jù)悉,海獅07EV搭載的高效十二合一智能電驅(qū)系統(tǒng),全系搭載1200V SiC電控,采用23000rpm轉(zhuǎn)速電機(jī),其極速可達(dá)225km/h以上。

圖片來(lái)源:拍信網(wǎng)正版圖庫(kù)

在SiC模塊方面,e平臺(tái)3.0 Evo采用了疊層激光焊技術(shù),取代傳統(tǒng)的螺栓連接工藝,采用疊層激光焊SiC功率模塊,雜散電感大幅降低75%,電控最高效率達(dá)99.86%,過(guò)流能力提高了10%,實(shí)現(xiàn)SiC功率模塊性能全面躍升。

基于上述SiC功率模塊,海獅07EV整車(chē)能量轉(zhuǎn)化效率更高,系統(tǒng)的綜合工況效率最高達(dá)92%,在日常城市駕駛工況下,出行效率提升7%,續(xù)航里程可提升50km。

據(jù)悉,比亞迪是國(guó)內(nèi)較早引入SiC功率器件的新能源汽車(chē)廠(chǎng)商。早在2020年,比亞迪·漢EV成為了國(guó)內(nèi)首款采用SiC的車(chē)型,同年比亞迪決定在2023年實(shí)現(xiàn)SiC對(duì)IGBT的全部替換。

近年來(lái),為給其快速發(fā)展的新能源汽車(chē)業(yè)務(wù)提供功率器件產(chǎn)品支撐,比亞迪在SiC領(lǐng)域大力投資擴(kuò)產(chǎn)。2023年6月消息,深圳市生態(tài)環(huán)境局公布了關(guān)于《比亞迪汽車(chē)工業(yè)有限公司碳化硅外延中試線(xiàn)量產(chǎn)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告書(shū)》受理公告。

公告顯示,比亞迪擬在深圳市坪山區(qū)比亞迪汽車(chē)生產(chǎn)基地建設(shè)SiC外延中試線(xiàn)量產(chǎn)項(xiàng)目,總投資約2.14億元,擴(kuò)建后將新增SiC外延片產(chǎn)能6000片/年,總產(chǎn)能達(dá)18000片/年。
在該SiC外延中試線(xiàn)量產(chǎn)項(xiàng)目之前,比亞迪已投資2億元建設(shè)了一條SiC外延片生產(chǎn)線(xiàn),年產(chǎn)量為12000片。該SiC外延片生產(chǎn)線(xiàn)已于2022年1月開(kāi)始建設(shè),設(shè)備已經(jīng)安裝完畢,但尚未正式投入運(yùn)營(yíng)。

2023年11月28日,位于紹興濱海新區(qū)的比亞迪半導(dǎo)體功率器件和傳感控制器件研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目一期竣工。該項(xiàng)目總投資100億元,用地417畝,項(xiàng)目建設(shè)年產(chǎn)72萬(wàn)片功率器件產(chǎn)品和年產(chǎn)60億套光微電子產(chǎn)品生產(chǎn)線(xiàn)。一期項(xiàng)目研發(fā)生產(chǎn)的功率器件、傳感控制器件,均為新能源汽車(chē)核心器件。

值得一提的是,5月10日,比亞迪半導(dǎo)體取得一項(xiàng)“平面SiC MOSFET及其制造方法”專(zhuān)利,授權(quán)公告號(hào)CN112582461B,申請(qǐng)日期為2019年9月30日。

該專(zhuān)利摘要顯示,本公開(kāi)涉及一種平面柵SiC MOSFET及其制造方法,屬于半導(dǎo)體領(lǐng)域,能夠精準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)短溝道。一種平面柵SiC MOSFET的制造方法,包括:在外延區(qū)上形成第一掩膜;刻蝕所述第一掩膜,形成第一注入窗口;通過(guò)所述第一注入窗口在所述外延區(qū)中形成阱區(qū);對(duì)剩余的所述第一掩膜進(jìn)行刻蝕以增大所述第一注入窗口,得到第二注入窗口;通過(guò)所述第二注入窗口在所述阱區(qū)中形成淺溝道阱區(qū),其中,所述淺溝道阱區(qū)的厚度被設(shè)置為能夠?qū)⑺鲒鍏^(qū)的橫向擴(kuò)展對(duì)溝道端點(diǎn)位置的影響降低到可忽略程度的厚度;以及在形成了所述淺溝道阱區(qū)的所述阱區(qū)中形成源極區(qū)。(集邦化合物半導(dǎo)體Zac整理)

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比亞迪獲得“一種溝槽型半導(dǎo)體器件及其制造方法”專(zhuān)利授權(quán) http://fortresscml.com/Company/newsdetail-65497.html Fri, 15 Sep 2023 09:45:45 +0000 http://fortresscml.com/?p=65497 9月12日,比亞迪股份有限公司獲得“一種溝槽型半導(dǎo)體器件及其制造方法”專(zhuān)利授權(quán),其授權(quán)公號(hào)為CN114122122B。

根據(jù)專(zhuān)利摘要可知,此發(fā)明屬于電氣元件領(lǐng)域,特別是涉及一種溝槽型半導(dǎo)體器件及其制造方法。
溝槽型半導(dǎo)體器件包括半導(dǎo)體基板、漏電極區(qū)、柵電極區(qū)、源電極區(qū)和絕緣柵介質(zhì)層;所述半導(dǎo)體基板開(kāi)設(shè)有溝槽,所述柵電極區(qū)位于溝槽中,所述絕緣柵介質(zhì)層位于所述柵電極區(qū)與所述半導(dǎo)體基板之間;所述溝槽的一側(cè)形成有柵氧保護(hù)區(qū)和第一源極區(qū),所述第一源極區(qū)由溝槽的一側(cè)的外壁延伸至所述溝槽的底部,所述柵氧保護(hù)區(qū)延伸至溝槽的底部,所述柵氧保護(hù)區(qū)與溝槽底部接觸位置形成連通第一源極區(qū)與半導(dǎo)體基板的第一溝道,柵氧保護(hù)區(qū)與溝槽底部接觸的位置形成所述第一溝道,增加了半導(dǎo)體器件的溝道密度,降低半導(dǎo)體器件的導(dǎo)通內(nèi)阻,提高器件性能。

Source:國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局

根據(jù)TrendForce集邦咨詢(xún)統(tǒng)計(jì),2023年7月全球37個(gè)銷(xiāo)售市場(chǎng)(詳見(jiàn)表格注)汽車(chē)銷(xiāo)量合計(jì)為544萬(wàn)輛,在6月份基期較高的情況下,7月份汽車(chē)銷(xiāo)量月減10%。其中,銷(xiāo)量前10名的汽車(chē)品牌市占率合計(jì)共50.7%,相較6月份的數(shù)值提高2.3個(gè)百分點(diǎn),代表品牌集中度進(jìn)一步提高。

比亞迪身為前10名中唯一僅銷(xiāo)售新能源車(chē)的品牌,占比與排名皆上升快速,比亞迪目前仍以中國(guó)市場(chǎng)為主,因此當(dāng)海外市場(chǎng)銷(xiāo)量提高后,將進(jìn)一步威脅前幾名業(yè)者。

TrendForce集邦咨詢(xún)表示,整體而言,汽車(chē)市場(chǎng)受到經(jīng)濟(jì)波動(dòng)影響,中國(guó)內(nèi)需不足、歐洲復(fù)蘇緩慢,美國(guó)在新車(chē)庫(kù)存攀升后銷(xiāo)售狀況佳,巴西市場(chǎng)因政府提供激勵(lì)政策而拉升銷(xiāo)量,各品牌的主力市場(chǎng)不同為每月銷(xiāo)量與占比起伏的原因之一。

(文:集邦化合物半導(dǎo)體Morty整理)

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第一季全球新能源車(chē)銷(xiāo)量達(dá)265.6萬(wàn)輛,特斯拉市占回升 http://fortresscml.com/Research/newsdetail-64863.html Fri, 04 Aug 2023 06:55:54 +0000 http://fortresscml.com/?p=64863

根據(jù)TrendForce集邦咨詢(xún)統(tǒng)計(jì),2023年第一季全球新能源車(chē)(NEV;包含純電動(dòng)車(chē)、插電混合式電動(dòng)車(chē)、氫燃料電池車(chē))銷(xiāo)售總量為265.6萬(wàn)輛,年增28%。其中純電動(dòng)車(chē)(BEV)銷(xiāo)量為194.2萬(wàn)輛,年成長(zhǎng)26%;插電混合式電動(dòng)車(chē)(PHEV)銷(xiāo)量71.1萬(wàn)輛,年增34%。

純電動(dòng)車(chē)方面,特斯拉(Tesla)降價(jià)奏效,第一季銷(xiāo)量42.3萬(wàn)輛創(chuàng)下歷史新高,同時(shí)市占率也回升到21.8%,回顧前三個(gè)季度特斯拉在純電動(dòng)車(chē)的市占率皆低于20%,可見(jiàn)降價(jià)對(duì)鞏固市場(chǎng)而言仍最快速見(jiàn)效。

比亞迪及五菱分別位居第二、第三名,但以低價(jià)微型電動(dòng)車(chē)為主力的五菱第一季銷(xiāo)量低于8萬(wàn)輛,無(wú)論相較于去年第四季,或去年同期都下滑不少,原因之一在于低價(jià)微型車(chē)的競(jìng)爭(zhēng)者不斷增多而瓜分市場(chǎng)?,F(xiàn)代(Hyundai)和起亞(Kia)分別排在第六名和第九名,而Hyundai在第一季創(chuàng)下單季銷(xiāo)售新高紀(jì)錄。大眾汽車(chē)(Volkswagen)排名第五,兩大豪華車(chē)品牌寶馬(BMW)和奔馳(Mercedes-benz)也都上榜,加快在電動(dòng)化的腳步。

插電混合式電動(dòng)車(chē)方面,比亞迪以市占率37%持續(xù)穩(wěn)居第一,比亞迪與戴姆勒集團(tuán)合資的電動(dòng)車(chē)品牌騰勢(shì)(Denza)也在第一季躍上第八名。比亞迪的多品牌策略已成形,除了騰勢(shì)外還有定位在豪華高端的「仰望」品牌將加入戰(zhàn)局。

理想汽車(chē)第一季竄升至第二名,多車(chē)款為其帶來(lái)單季銷(xiāo)售5.2萬(wàn)輛的成績(jī),市占率提高至7.3%。三大歐系豪華車(chē)品牌BMW、Mercedes-Benz、Volvo在PHEV銷(xiāo)售排名仍位居前段,但銷(xiāo)量相較去年同期有所下滑。

TrendForce集邦咨詢(xún)表示,各國(guó)皆往提高零碳排車(chē)輛比重的方向邁進(jìn),故新能源車(chē)銷(xiāo)量仍會(huì)持續(xù)提高,對(duì)整體車(chē)市的滲透率也不斷攀升,是汽車(chē)產(chǎn)業(yè)中具備商機(jī)的領(lǐng)域。然而,不能忽略高通脹和高利率帶來(lái)的市場(chǎng)不穩(wěn)定性,消費(fèi)者縮減支出對(duì)汽車(chē)銷(xiāo)量的沖擊程度,以及小型車(chē)廠(chǎng)是否能撐過(guò)經(jīng)濟(jì)逆風(fēng)考驗(yàn),都使今年下半年的汽車(chē)市場(chǎng)充滿(mǎn)變量。(文:TrendForce集邦咨詢(xún))

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比亞迪、天岳先進(jìn)、羅姆擴(kuò)產(chǎn)! http://fortresscml.com/SiC/newsdetail-64600.html Thu, 13 Jul 2023 06:11:15 +0000 http://fortresscml.com/?p=64600 近期,SiC行業(yè)熱情持續(xù)高漲,市場(chǎng)又傳來(lái)了不少與擴(kuò)產(chǎn)相關(guān)的消息,其中三家分別是天岳先進(jìn)、比亞迪及羅姆ROHM。

天岳半導(dǎo)體6英寸SiC襯底產(chǎn)能將擴(kuò)大至96萬(wàn)片/年

天岳先進(jìn)在上海臨港擴(kuò)建SiC項(xiàng)目,該項(xiàng)目由其全資子公司天岳半導(dǎo)體主導(dǎo)。5月消息,上海臨港新片區(qū)管理委員會(huì)對(duì)外公示了《關(guān)于“天岳半導(dǎo)體碳化硅半導(dǎo)體材料項(xiàng)目(調(diào)整)”》的環(huán)評(píng)審批意見(jiàn)。

根據(jù)環(huán)評(píng)審批意見(jiàn)公示,天岳半導(dǎo)體將通過(guò)優(yōu)化生產(chǎn)工藝、調(diào)整生產(chǎn)設(shè)備、原輔材料和公輔環(huán)保設(shè)施等方式,提高產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量。調(diào)整后,6英寸SiC襯底的生產(chǎn)規(guī)模將擴(kuò)大至每年96萬(wàn)片。

據(jù)了解,上海臨港項(xiàng)目于2021年確立,總投資25億元。彼時(shí),天岳先進(jìn)正在推進(jìn)上市進(jìn)程,其計(jì)劃募資20億元投向臨港項(xiàng)目的建設(shè),擴(kuò)充SiC半導(dǎo)體材料產(chǎn)能。該項(xiàng)目已于2022年3月成功封頂,并在最近開(kāi)始交付。

值得注意的是,按照之前的規(guī)劃,臨港項(xiàng)目全部達(dá)產(chǎn)后,SiC襯底的產(chǎn)能約為30萬(wàn)片/年。而通過(guò)此次的產(chǎn)能調(diào)整,臨港項(xiàng)目產(chǎn)能將擴(kuò)大220%,達(dá)96萬(wàn)片/年。

比亞迪計(jì)劃新增SiC外延片產(chǎn)能6000片/年

6月消息,深圳市生態(tài)環(huán)境局公布了關(guān)于《比亞迪汽車(chē)工業(yè)有限公司碳化硅外延中試線(xiàn)量產(chǎn)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告書(shū)》受理公告。

公告顯示,比亞迪擬在深圳市坪山區(qū)比亞迪汽車(chē)生產(chǎn)基地建設(shè)SiC外延中試線(xiàn)量產(chǎn)項(xiàng)目,總投資約2.14億元,擴(kuò)建后將新增SiC外延片產(chǎn)能6000片/年,總產(chǎn)能達(dá)18000片/年。

據(jù)悉,該項(xiàng)目的建設(shè)內(nèi)容主要為設(shè)備安裝,預(yù)計(jì)施工期為3個(gè)月,計(jì)劃于2023年6月開(kāi)工,預(yù)計(jì)2023年9月建成。

比亞迪作為國(guó)內(nèi)第三代半導(dǎo)體少數(shù)IDM廠(chǎng)商之一,一直以來(lái)致力于打通SiC產(chǎn)業(yè)鏈上中下游,通過(guò)擴(kuò)產(chǎn)不斷延伸產(chǎn)業(yè)鏈,形成SiC全產(chǎn)業(yè)鏈閉環(huán)及垂直整合。在本次項(xiàng)目擴(kuò)建之前,比亞迪已投資2億元建設(shè)了一條SiC外延片生產(chǎn)線(xiàn),年產(chǎn)量為12000片。該項(xiàng)目已于去年1月開(kāi)始建設(shè),目前設(shè)備已經(jīng)安裝完畢,但尚未正式投入運(yùn)營(yíng)。

比亞迪當(dāng)時(shí)建設(shè)該項(xiàng)目的主要目的是承接比亞迪中研院內(nèi)部的SiC單晶生長(zhǎng)技術(shù)開(kāi)發(fā),為公司內(nèi)部的電動(dòng)車(chē)和云軌產(chǎn)業(yè)提供高質(zhì)量的SiC外延片,實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)協(xié)同優(yōu)勢(shì),降低整體生產(chǎn)成本。而本次在此基礎(chǔ)上擴(kuò)建一條中試線(xiàn),未來(lái)產(chǎn)能規(guī)模將進(jìn)一步擴(kuò)大。

目前,比亞迪在SiC領(lǐng)域的布局已覆蓋單晶生長(zhǎng)、襯底、外延、晶圓、模組等全產(chǎn)業(yè)鏈,這一產(chǎn)業(yè)鏈也與其汽車(chē)產(chǎn)業(yè)鏈形成了協(xié)同聯(lián)動(dòng)效應(yīng),在SiC產(chǎn)品研發(fā)、上車(chē)驗(yàn)證、管控成本等方面更高效,產(chǎn)能供應(yīng)穩(wěn)定性更強(qiáng)。作為國(guó)內(nèi)首家導(dǎo)入SiC技術(shù)的車(chē)企,比亞迪持續(xù)積極應(yīng)用和推廣車(chē)用SiC技術(shù),現(xiàn)已將SiC導(dǎo)入旗下多款新能源汽車(chē)中。

羅姆擬收購(gòu)工廠(chǎng)以擴(kuò)產(chǎn)SiC功率器件

昨日(7/12),羅姆發(fā)布新聞稿宣布,集團(tuán)已與日本Solar Frontier K.K.達(dá)成基本協(xié)議,將收購(gòu)位于日本的Solar Frontier原國(guó)富工廠(chǎng)的資產(chǎn),收購(gòu)交易預(yù)計(jì)2023年10月進(jìn)行,收購(gòu)?fù)瓿珊?,該工廠(chǎng)將成為羅姆集團(tuán)的主要生產(chǎn)基地之一,預(yù)期2024年底開(kāi)始運(yùn)營(yíng)。

羅姆對(duì)汽車(chē)電氣化及可再生能源等對(duì)全球脫碳的推動(dòng)作用有著強(qiáng)烈的意識(shí),也一直看好由此產(chǎn)生的發(fā)展機(jī)遇。近幾年來(lái),羅姆在SiC領(lǐng)域加大產(chǎn)品研發(fā)投入、大舉擴(kuò)產(chǎn),在SiC領(lǐng)域取得了豐富的成果。

以新能源汽車(chē)應(yīng)用為例,羅姆的SiC功率器件已導(dǎo)入吉利、馬自達(dá)、Lucid等車(chē)企的供應(yīng)鏈體系,并與緯湃科技等汽車(chē)Tier 1廠(chǎng)商達(dá)成長(zhǎng)期的合作。上個(gè)月,羅姆剛與緯湃科技簽訂了SiC功率元器件的長(zhǎng)期供貨協(xié)議,按照協(xié)議,雙方在2024-2030器件的交易額將超過(guò)1300億日元。

由此可見(jiàn),市場(chǎng)對(duì)SiC的需求不斷增長(zhǎng),這也是羅姆持續(xù)擴(kuò)產(chǎn)的主要原因。收購(gòu)Solar Frontier原國(guó)富工廠(chǎng)的資產(chǎn),有利于羅姆直接利用工廠(chǎng)里的現(xiàn)有設(shè)施,快速擴(kuò)張產(chǎn)能。羅姆表示,未來(lái)還將繼續(xù)擴(kuò)充SiC功率器件的產(chǎn)能,為客戶(hù)提供更好的產(chǎn)品供應(yīng)保障。(化合物半導(dǎo)體市場(chǎng)Jenny整理)

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比亞迪入股這家半導(dǎo)體設(shè)備廠(chǎng) http://fortresscml.com/SiC/newsdetail-64571.html Tue, 11 Jul 2023 09:02:18 +0000 http://fortresscml.com/?p=64571 近日,長(zhǎng)三角一體化示范區(qū)(浙江嘉善)嘉芯半導(dǎo)體設(shè)備科技有限公司發(fā)生工商變更,新增股東比亞迪股份有限公司、深圳市創(chuàng)啟開(kāi)盈創(chuàng)業(yè)投資合伙企業(yè)(有限合伙);公司注冊(cè)資本從3.71億元增加到4.12億元。

2021年,以寧波芯恩為主體攜手掌握離子注入機(jī)技術(shù)的萬(wàn)業(yè)企業(yè),成立嘉芯半導(dǎo)體,萬(wàn)業(yè)和寧波芯恩的持股比重分別為80%和20%。嘉芯半導(dǎo)體聚焦半導(dǎo)體核心設(shè)備賽道,覆蓋包括刻蝕、薄膜沉積、快速熱處理及退火、清洗設(shè)備等設(shè)備環(huán)節(jié)。

據(jù)悉,寧波芯恩成立于 2017 年,法定代表人為中芯國(guó)際創(chuàng)始人張汝京。

圖片來(lái)源:拍信網(wǎng)正版圖庫(kù)

據(jù)嘉芯半導(dǎo)體董事長(zhǎng)兼CEO周偉芳介紹,嘉芯半導(dǎo)體投資興建的109畝產(chǎn)業(yè)園區(qū)僅用8個(gè)月時(shí)間便完成了新建廠(chǎng)房的封頂,預(yù)計(jì)即將完成全部的竣工驗(yàn)收,下半年開(kāi)始搬入,未來(lái)將成為華東地區(qū)最大的集成電路前道設(shè)備研發(fā)制造基地之一。

項(xiàng)目總投資20億元,規(guī)劃面積達(dá)109畝,擁有14萬(wàn)方廠(chǎng)房面積,覆蓋刻蝕機(jī)、薄膜沉積、快速熱處理及褪火等多款集成電路核心前道設(shè)備,未來(lái)將形成種類(lèi)齊全的設(shè)備基地。

目前,嘉芯半導(dǎo)體累計(jì)訂單已突破4.6億元。其中包括氮化硅等離子刻蝕機(jī)、金屬等離子刻蝕機(jī)、側(cè)墻等離子刻蝕機(jī)等在內(nèi)的刻蝕設(shè)備,高密度等離子薄膜沉積設(shè)備(HDP-CVD)、二氧化硅等離子薄膜沉積設(shè)備(PECVD)、摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學(xué)沉積設(shè)備(SACVD)、鈦/氮化鈦沉積設(shè)備(MOCVD)、鋁銅金屬濺射設(shè)備(PVD)等在內(nèi)的薄膜沉積設(shè)備,以及快速熱處理(RTP)、雙燃燒+雙水洗尾氣處理等多個(gè)品類(lèi)。(文:集邦化合物半導(dǎo)體 Amber整理)

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