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中科重儀自研功率型GaN-on-Si生產(chǎn)線投產(chǎn)

作者 |發(fā)布日期 2023 年 12 月 11 日 17:41 | 分類 功率
近日,蘇州中科重儀半導體材料有限公司(以下簡稱中科重儀)自主研發(fā)的應用于電力電子領域的大尺寸硅基氮化鎵(GaN-on-Si)外延片生產(chǎn)線正式建成并投入使用。 據(jù)介紹,目前GaN材料外延生長的主流方法是金屬有機化學氣相沉積法(MOCVD),由于針對功率型大尺寸GaN-on-Si材料...  [詳內(nèi)文]