9月30日，據(jù)科友半導(dǎo)體官微消息，科友半導(dǎo)體在今年9月成功實(shí)現(xiàn)8英寸高品質(zhì)碳化硅襯底的批量制備，通過(guò)優(yōu)化電阻爐溫場(chǎng)、引入緩沖層優(yōu)化長(zhǎng)晶工藝、優(yōu)化原料區(qū)域溫度分布，發(fā)揮了電阻加熱式PVT法碳化硅單晶穩(wěn)定生長(zhǎng)的優(yōu)勢(shì)。
source：科友半導(dǎo)體
檢測(cè)表明，科友半導(dǎo)體8英寸碳化硅襯底產(chǎn)品總腐蝕坑密度控制在2000個(gè)cm-2左右，TSD與BPD位錯(cuò)缺陷密度得到有效降低，占同期產(chǎn)出襯底的比例在八成以上。
官微資料顯示，科友半導(dǎo)體成立于2018年5月，是一家專(zhuān)注于第三代半導(dǎo)體裝備研發(fā)、襯底制作、器件設(shè)計(jì)、科研成果轉(zhuǎn)化的廠(chǎng)商，研發(fā)覆蓋半導(dǎo)體裝備研制、長(zhǎng)晶工藝、襯底加工等多個(gè)領(lǐng)域，形成自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，已累計(jì)授權(quán)專(zhuān)利80余項(xiàng)，實(shí)現(xiàn)先進(jìn)技術(shù)自主可控。
今年以來(lái)，科友半導(dǎo)體在技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化等方面都取得了新進(jìn)展。
技術(shù)研發(fā)方面，科友半導(dǎo)體在今年3月27日與俄羅斯N公司在哈爾濱簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議，開(kāi)展“八英寸碳化硅完美籽晶”項(xiàng)目合作。
據(jù)介紹，通過(guò)與俄羅斯N公司的合作，科友半導(dǎo)體將研發(fā)獲得“無(wú)微管，低位錯(cuò)”完美籽晶，應(yīng)用品質(zhì)優(yōu)異的籽晶進(jìn)行晶體生長(zhǎng)，會(huì)進(jìn)一步大幅降低八英寸碳化硅晶體內(nèi)部的微管、位錯(cuò)等缺陷密度，從而提高晶體生長(zhǎng)的質(zhì)量和良率，并推動(dòng)碳化硅長(zhǎng)晶爐體及工藝技術(shù)的優(yōu)化與升級(jí)。
隨后在5月29日，科友半導(dǎo)體自主研發(fā)的電阻長(zhǎng)晶爐再次實(shí)現(xiàn)突破，成功制備出多顆中心厚度超過(guò)80mm，薄點(diǎn)厚度超過(guò)60mm的導(dǎo)電型6英寸碳化硅單晶，據(jù)稱(chēng)這是國(guó)內(nèi)首次報(bào)道和展示厚度超過(guò)60mm的碳化硅原生錠毛坯，厚度是業(yè)內(nèi)主流晶體厚度的3倍，單片成本較原來(lái)降低70%。此批次晶體呈現(xiàn)出微凸的形貌，表面光滑無(wú)明顯缺陷。
市場(chǎng)拓展方面，今年3月，科友半導(dǎo)體在成功拿下超2億元的出口歐洲長(zhǎng)訂單之后，順利通過(guò)“國(guó)際汽車(chē)特別工作組質(zhì)量管理體系”（IATF16949）認(rèn)證，獲得進(jìn)軍國(guó)內(nèi)新能源汽車(chē)芯片襯底百億級(jí)規(guī)模市場(chǎng)“通行證”。截至2023年12月底，科友半導(dǎo)體實(shí)現(xiàn)銷(xiāo)售定單逾6億元人民幣。（集邦化合物半導(dǎo)體Zac整理）
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