年產(chǎn)48萬片SiC,芯粵能碳化硅項目通過審查

作者 | 發(fā)布日期 2023 年 01 月 16 日 14:34 | 分類 碳化硅SiC

近日,廣東省能源局發(fā)布廣東芯粵能半導(dǎo)體有限公司“面向車規(guī)級和工控領(lǐng)域的碳化硅芯片制造項目”節(jié)能報告的審查意見:項目采用的主要技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和建設(shè)方案符合國家相關(guān)節(jié)能法規(guī)及節(jié)能政策的要求,原則同意該項目節(jié)能報告。

據(jù)此前報道,這是國內(nèi)唯一一家專注于車規(guī)級、具備規(guī)?;a(chǎn)業(yè)聚集及全產(chǎn)業(yè)鏈配套能力的碳化硅芯片制造項目。項目的發(fā)展也推動廣州南沙成為國內(nèi)首個實現(xiàn)寬禁帶半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈布局的地區(qū)。

芯粵能碳化硅項目占地150畝,一期投資35億元,建成年產(chǎn)24萬片6英寸碳化硅晶圓的生產(chǎn)線;二期建設(shè)年產(chǎn)24萬片8英寸碳化硅晶圓的生產(chǎn)線。

圖片來源:拍信網(wǎng)正版圖庫

產(chǎn)品包括碳化硅SBD/JBS、MOSFET、IGBT等功率器件,主要應(yīng)用于新能源汽車、充電樁、工業(yè)電源、智能電網(wǎng)以及光伏發(fā)電等領(lǐng)域,達產(chǎn)后年產(chǎn)值將達100億元。

項目主要建構(gòu)筑物包括生產(chǎn)廠房、生產(chǎn)調(diào)度廠房、研發(fā)廠房、綜合動力站、綜合倉庫、硅烷站、化學(xué)品庫、廢水處理站、危險品庫、大宗氣站等,主要設(shè)備包括光刻機、涂膠顯影機、刻蝕機、烘箱、高溫氧化爐管、高溫激活爐管、清洗機、冷水機組、純水制備系統(tǒng)、燃氣鍋爐等。

項目能耗量和主要能效指標(biāo):項目建成投產(chǎn)后,年綜合能耗不高于10277噸標(biāo)準(zhǔn)煤(當(dāng)量值),其中年電力消耗量不高于6450萬千瓦時、天然氣消耗量不高于175萬立方米;項目集成電路晶圓制造單位產(chǎn)品電耗不高于0.72千瓦時/平方厘米。(文:集邦化合物半導(dǎo)體 Cecilia整理)

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