據(jù)企查查資料顯示，國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金二期股份有限公司（以下簡稱：大基金二期）入股了北京爍科中科信電子裝備有限公司（以下簡稱：爍科中科信），持股比例為8%。
據(jù)了解，爍科中科信成立于2019年6月，由中電48所和北京中科信離子注入機業(yè)務戰(zhàn)略整合而成，是國內(nèi)集成電路高端工藝裝備的領先企業(yè)，主營業(yè)務包括半導體器件專用設備的制造。公司總部位于北京市經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)（通州）光機電一體化產(chǎn)業(yè)基地，在長沙設有分公司。
爍科中科信的產(chǎn)品聚焦集成電路主要應用領域，同時涵蓋化合物半導體、材料加工制備等領域，已形成中束流、大束流、高能機、特種、化合物半導體等系列化離子注入機產(chǎn)品體系。
目前，爍科中科信已擁有中束流離子注入機、大束流離子注入機、高能離子注入機和定制離子注入機四種產(chǎn)品，構建了較為系統(tǒng)的集成電路離子注入機譜系。
在化合物半導體領域，爍科中科信針對SiC市場，基于中束流離子注入機技術，推出了適用4-6英寸的定制注入機。目前，公司的特種注入機和化合物半導體注入機已出貨幾十臺。
資料顯示，離子注入機是集成電路制造摻雜工藝的主要設備，在器件小型化和多樣化方面起重要作用，研發(fā)難度極大。目前，離子注入機市場主要被美日企業(yè)壟斷，爍科中科信是國內(nèi)率先實現(xiàn)向終端客戶交付和驗收離子注入機的公司，并已承擔十五、十一五、十二五離子注入機研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目，實現(xiàn)全系列集成電路離子注入機批量應用，產(chǎn)業(yè)化能力達到28nm，面向第三代半導體離子注入機實現(xiàn)批量銷售。
由此可見，爍科中科信將成為我國實現(xiàn)電子元器件制造工藝裝備自主可控的重要力量，助力推動關鍵裝備的國產(chǎn)化替代。當前，爍科中科信已獲得大基金二期、中信建投資本、博時資本中芯聚源等知名投資機構的投資，資金實力將逐步提升，有利于其加快設備研發(fā)、技術工藝突破、設備產(chǎn)業(yè)化的進程。（化合物半導體市場Jenny整理）
更多SiC和GaN的市場資訊，請關注微信公眾賬號：集邦化合物半導體。